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碳化硅
碳化硅部件

碳化硅部件簡介

在材料產品中,CVD-SiC是頗具成長性的產品,該產品可作為半導體生產設備的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1結合構成的一種化合物,其硬度僅次于鉆石和碳化硼,居世界第三位。Ferrotec應用含有硅和碳的氣體即CVD工藝法來進行制造。以硅片為例,采用CVD法將碳化硅涂覆在加工成圓盤狀的石墨基材表面,切削外緣后,通過高溫氧化除去石墨基材,再經過數道后續加工,硅片就完成了。碳化硅作為航空航天、能源等最尖端產業領域所需的高純度材料受到越來越多的關注。
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耐熱性
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化學穩定性
化學穩定性
抗氧化性
抗氧化性
碳化硅部件的特性
Ferrotec SiC部件產品具有較高的抗氧化性、化學穩定性和耐熱性,具備在2000度高溫時也可保持穩定的優良特性。它們被廣泛地應用于半導體材料的制造過程中需要的晶圓舟、管和代替硅片的仿真晶圓,也廣泛運用于高溫時使用的夾具產品。在半導體生產設備、航空領域、汽車領域、人造衛星、能源領域等尖端領域有廣泛應用。
應用場景
  • 半導體生產設備
    半導體生產設備
  • 航空領域
    航空領域
  • 汽車領域
    汽車領域
  • 人造衛星
    人造衛星
  • 能源領域
    能源領域
半導體生產設備
航空領域
汽車領域
人造衛星
能源領域
半導體生產設備
半導體生產設備
航空領域
航空領域
汽車領域
汽車領域
人造衛星
人造衛星
能源領域
能源領域
Matrix diagram of applications in various fields
各領域的應用之矩陣圖
該產品的生產基地
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